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紫外刻劃光柵母版及二代版衍射特性的模擬與分析（PDF）
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軟件大小： 233.00 KB 解壓密碼： 軟件評級： ★★★ 開 發(fā) 商： Frank 本月下載： 軟件類別： 國產(chǎn)軟件 軟件授權(quán)： 免費(fèi)版 軟件語言： 英文 運(yùn)行平臺： Win9x/NT/2000/XP/2003 更新時間： 2011年12月15日 -
內(nèi)容介紹
運(yùn)用微分理論對刻線密度為1200 lp／mm的紫外刻劃光柵母版及其二代復(fù)制版的衍射特性做了模擬，指出了二者之間存在的差異，并與測試結(jié)果做了對照。數(shù)值模擬表明，紫外刻劃光柵二代復(fù)制版的衍射特性與其母版略有不同，原因是光柵槽形發(fā)生了改變，分別給出了采用多項(xiàng)式擬合槽形函數(shù)和傅里葉級數(shù)擬合槽形函數(shù)的方法。此理論分析方法為澄清光柵復(fù)制工藝中的爭議完善翻版技術(shù)以及尋找提高紫外光柵衍射效率的途徑提供了很好的理論參考依據(jù)。
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